聚焦离子束(FIB)
聚焦离子束 (FIB) 技术以其纳米级精度进行材料刻蚀、沉积与成像,是先进样品制备(如TEM薄片)和微纳加工的核心工具。本文介绍FIB原理、核心优势、关键应用模式与技术特点(含缩写),揭示其在失效分析、材料表征和半导体工艺中的重要作用。
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